我们可提供大量的增值技术,以帮助应对您所面临的具体成本和环境挑战。
现场制氟
我们优先利用分子氟(F2)取代具有导致气温变暖潜势的气体,如三氟化氮(NF3)和六氟化硫(SF6Generation-F®现场氟发生器可提供有效的清洗气体,减少超过50%的清洗时间和停机时间,提高高达10%的生产线产量。
制氮
我们的SPECTRA-N™制氮设备 ,是TFT - LCD制造商在大量生产需求时较具成本效益的、提供超纯氮气的可靠途径。低于1ppb气体杂质水平,SPECTRA-N比传统制氮机的电耗低,但同时又具有较好的不满载能力,以满足产能爬升的要求。
全系产品
我们提供的气体和化学品品种齐全,支持所有的TFT - LCD平板制造工艺:
超纯大宗气体
现场气体发生器
气瓶和批量供应的电子特种气体
特殊和湿法工艺化学品。
TFT - LCD平板制造材料cture
大宗气体 | 电子专用气体 |
氮 | 硅烷 |
氢 | 三氟化氮 |
氦 | 氟气(现场生产) |
氧气 | 六氟化硫 |
氩 | 氨气 |
二氧化碳 | |
磷化氢混合物 |
具体的要求将取决于工艺和制造地区。
系统和专业服务
我们还提供范围广泛的专业服务,让您专注于核心业务、保持业务正常运行。包括从交钥匙工程设计和安装服务到终端的气体系统管理,其中包括:
大宗气体储存和分配系统
大宗特殊气体系统(BSGS)
气体箱和配气管
全面气体及化学品管理。
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