作为我们致力研发的新近工艺技术的一部分,我们当前正在推动趋势从湿法工艺到干法工艺的转变。凭借在薄膜硅太阳能电池的专业知识,我们的干法工艺技术使更智能的晶体硅制造工艺变成可能。此项技术的益处包括降低运营成本,以及增加工厂的效率和性能。同时,我们还有经验和专长可帮助优化关键的工艺环节,如蚀刻/制绒、掺杂、PSG移除、边缘隔离、减反层(ARC)沉积和确保电池性能的各种清洁步骤。
全系产品
我们提供晶体硅电池的制造过程中所需的各种气体和化学品:
超纯大宗气体
以气瓶和大宗包装供应的电子特气
特殊和湿法工艺化学品。
晶体硅电池制造材料
大宗气体 | 电子特殊气体 |
氮 | 硅烷 |
氢 | 氨气 |
氦 | 氟气(现场制造) |
氧 | 六氟化硫 |
氩 | 氯 |
四氟化碳 | |
砷化氢和磷化氢混合物 |
具体的要求因工艺流程和制造地区而不用。
系统和专业服务
此外,我们还提供广泛的专业服务,可让您专注于核心业务,保持业务正常运行。这些服务范围从交钥匙工程设计和安装服务可延伸到气体系统终端到终端的管理服务,同时还有:
大宗气体储存和分配系统
大宗特种气体系统(BSGS)
气柜和配气管
全面气体及化学品管理。
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